等离子体法是20世纪70年代发展起来的同时脱硫脱硝技术，被国际上认为是最有前途的新一代烟气脱硫技术。它主要是利用高能电子使烟气中的SO2，NOX，H2O，O2 等分子被激活， 电离甚至裂解，产生大量的离子及自由基等活性粒子， 由于强氧化性使SO， NOX 被氧化，在注入氨的情况下，生成硫酸铵和硝酸铵化肥。根据高能电子的来源，可分为电子束照射法和脉冲电晕等离子法。

电子束照射法是靠电子加速器产生高能电子，使烟气中的氧和水蒸气等激发转化成氧化能力强的自由基，与烟气中的SOX, NOX 反应生成硫酸和硝酸，再和加入的氨反应产生硫酸铵和硝酸铵化肥。可以同时高效地脱硫脱销，但是投资和运行费用非常高，技术含量高。

脉冲电晕等离子法是靠脉冲高压电源在普通反应器中形成等离子体，从而产生高能电子，国内外许多研究人员对其进行大量实验研究工作。目前，该技术已进入大规模工业试验阶段，其优点，设备简单、操作简便、投资仅是电子束照射法的60% ,因此,成为国际上干法脱硫脱硝的研究前沿。